氧化铈稀土抛光粉的在抛光過程中的作用曆史上，人們曾用較爲堅硬的碎石或天然砂粒将石器磨平抛光，以便石器更加實用和美觀。随著(zhe)陶器等産(chǎn)品的出現，人們更加注重對其表面的研磨和抛光，但是過程仍停留在原始的手工勞動。到中世紀末玻璃行業的興起時，歐洲開始生産(chǎn)大塊鏡子時，對玻璃的研磨和抛光工藝得以快速發展，那時的玻璃研磨工藝，主要是在機床上進行。工業上逐漸将玻璃的冷加工劃分爲粗磨、細磨和抛光三個階段。對玻璃進行化學機械抛光，可有效的提高玻璃工件表面質量，從而滿足目前顯示器玻璃，觸摸屏等精密玻璃行業的抛光。
關於對玻璃抛光的機理，目前還沒有形成一個完全的統一理論，但是學術界也己有較多該方面的報道，主要有以下幾點:
1，有關機械作用的學說，在研磨過程中抛光是由於研磨設備之間的作用産生的；
2，流變作用的學說(物理化學的學說)，即摩擦使玻璃的表面塑性變形，或是摩擦産生的熱軟化至玻璃表面熔融而流動，抛光是玻璃的表面分子經過重新分布最後形成平整表面的過程；
3，機械、物理化學的學說，即玻璃抛光的過程是機械和物理化學作用的共同過程；
4，化學作用學說，玻璃抛光是水、抛光材料、抛光墊和玻璃幾者之間的綜合化學作用的結果。目前，學術界比較同意的一種意見是:抛光過程是機械、物理化學和化學的綜合作用，其中機械的作用是基本，化學的作用是重點，研磨過程中同時存在著流變現象。
目前，我國生産氧化铈稀土抛光粉的原料有很多種，不同的原料對應不同的制備工藝。從制備工藝來看，可以分爲四大類:一是稀土礦物原料焙燒法；二是以稀土可溶性鹽爲原料的沉澱一焙燒法；三是以沉澱劑制備前驅體的沉澱一焙燒法；四是納米氧化飾的制備法。磨抛過程中玻璃的表面會形成軟質層並與抛光粉中的抛光顆粒、抛光墊發生相互作用，該軟質層的成分、厚度、硬度、以及摩擦發生的摩擦熱都将直接參與研磨並影響材料的去除速率，軟質層的成分、性質與玻璃的組成、水解的pH值及水解過程的參數緊密相關。
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